Molekulių pluošto epitaksijos (MBE) sistemos
Aprašymas
Molekulių pluošto epitaksija (MBE) yra vienas iš monokristalų nusodinimo metodų. Ši technologija laikoma esmine dėl išgaunamų struktūrų unikalumo ir tikslios erdvinių parametrų kontrolės. MBE sistemose sudaroma ypatingai švari aplinka, kurioje preciziškai nusodinamos plonos plėvelės, skirtos puslaidininkių, opto-elektroninių, fotoeletroninių ir magnetinių detalių gamybai. MBE sistemose įdiegti techniniai ir programiniai sprendimai leidžia stebėti ir tiksliai valdyti visus, sluoksnių augimą lemiančius, parametrus. MBE įrangai yra būdinga modulinė konstrukcija.
Skirstymas
laserinisnitridamsoksidamsSilicon