Aprašymas
Mikro ir nano elektronikos mokslo pritaikymas yra platus ir apima cheminį garų nusėdimą, cheminio tirpalo nusėdimą, atominio sluoksnio nusėdimą, litografiją, nano-modeliavimą ir savaiminį molekulinį susijungimą. Taip pat šioje srityje yra naudojamos ir tokios cheminės medžiagos, kaip ypač grynos rūgštys ir tirpikliai, dujos, ėsdinimo medžiagos, gryni elementai ir monokristaliniai substratai.
i.